Повторная точность (мм):0,005
Точность измерения X ,Y (мкм):3,0+л/200
Разрешение линейной шкалы:0,5 мкм
Прикладные отрасли:электронное, медицинское, точное оборудование, разъем, ЖК-дисплей и т. д.
Система контроля:встроенные модули управления двигателем, программное обеспечение собственной разработки
Разрешение линейной шкалы:0,5 мкм
Оптическое увеличение:0,7-4,5Х
Дополнительный зонд:ЗОНД Renishaw MCP
Разрешение линейной шкалы:0,5 мкм
Камера:1/3-дюймовый цветной ПЗС
Ход (мм):300*200
Разрешение линейной шкалы:0,5 мкм
Заявление:2D-измерение
Применение:Оптическая система
Разрешение линейной шкалы:0,5 мкм